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第19章 用光刻还是冰刻(第1页)

好嘛,这倒是大意了。

一时间,会议室内的众人有点尴尬。不过不会可以学嘛,而且你既然作为曾经的二把手,以后要学的东西会越来越多。

最后苏云欣顺利拿到了所有资料,当晚就开始着手研究。

苏云欣喝了一口红糖水,托着小脑袋,考虑着到底是要光刻还是冰刻。

光刻机实际上并不是用激光来雕刻芯片,名字里有个“刻”字,但实际工作流程并不涉及“刻”的过程。

芯片生产用光刻机的工作更像是留影机,把掩膜板上的图案照射到涂在晶圆上的光刻胶上,让胶片曝光。

光刻机只是完成曝光,不进行光刻。

之后交接给蚀刻机,蚀刻机才是要完成刻的工作。使用极紫外光等方式雕刻电子线路。

而在其中光刻胶至关重要。

传统光刻机涂抹在晶圆上的这一过程中极易受到厚度、均匀程度等影响,从而影响良品率。

而冰刻在真空环境中,由于水自身的特性,它可以完美地包裹住晶圆,从而避免传统光刻胶可能导致的种种问题。

但是冰刻机的雕刻工艺需要非常细致。

“如果可以用高强度离子束替代电子束。冰刻会不会更好呢?”苏云欣有节奏的转着笔。

哎,有时候方案太多也是一种烦恼,都要选择困难症了。

“系统,你有什么建议吗?”

[#-_-都可以啦,就这么个光刻机,有啥纠结的。]

[倒是有个捷径,离子束直接混合灵子,离子速度将再次加速,离子束变的越发尖锐。不过,我怕你把握不好。]

“诶?你这样不相当于微型激光武器了吗?”

[是啊,如果是1pm(皮米),只有这样才理想,你之前都是1nm后直接跳硅基芯片了。]

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